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真空擋板閥的工作原理是閥板根據(jù)閥座做上下運(yùn)動而實現(xiàn)封閉的。驅(qū)使閥座運(yùn)動傳動部件有手動、手電兩動、氣動三種方式。手動傳動部件,以螺紋結(jié)構(gòu)為主,也可以采用平凸輪構(gòu)造。圖1和圖2分別是直角式、直連式真空擋板閥結(jié)構(gòu)示意圖。手動兩用的傳動部件,由電機(jī)、蝸輪、蝸桿構(gòu)成,并配有限位開關(guān)。
當(dāng)插上電源后,電機(jī)按某一方位(如打開方位)轉(zhuǎn)動,根據(jù)蝸輪、蝸桿推動閥座往上運(yùn)動使閥板升高,當(dāng)閥上升到一定高度時,限位開關(guān)自動關(guān)閉電源,閥座運(yùn)動立即停止,相反也是。手動時,松開手輪背帽,用手按一定方向旋轉(zhuǎn)手輪即可。
氣動傳動部件以縮小干燥空氣為驅(qū)動,根據(jù)電磁換向閥改變供氣方位,促進(jìn)氣缸活塞上下運(yùn)動,推動閥座上下運(yùn)動,使閥板打開關(guān)掉,從而達(dá)到接通或停止氣旋的效果。
真空擋板閥有高真空擋板閥和極高真空擋板閥兩種。高真空擋板閥用以高真空系統(tǒng)接通或截至氣旋。適用壓力范疇:軸封為橡膠時為1.3×10-4~105Pa;軸封為波紋管構(gòu)造時為1.3×10-5~105Pa。介質(zhì)溫度:-25~80℃(密封件為丁腈橡膠);-30~150℃(密封件為氟膠)。閥體材料:碳鋼鍍鎳或不銹鋼;閥板密封材料丁腈橡膠或氟膠。
高真空擋板閥用以超高真空系統(tǒng)接通或截至氣旋。適用壓力范圍為1.3×10-3~105Pa。閘閥打開情況,烤制溫度低于400℃;閥體材料為不銹鋼;閥板材料為無氧銅;軸封處密封件材料為不銹鋼波紋管。這兩種真空擋板閥使用的介質(zhì)為潔凈的空氣或?qū)﹂l閥耐腐蝕的干凈氣體。不適合用對其金屬有強(qiáng)腐蝕性和含有顆粒情況灰塵的氣體前提下長期使用。
高真空擋板閥因為具備密封可靠、流導(dǎo)大、安全性好及其可手控、電控、氣控等特點(diǎn),多種形式,規(guī)格齊全,公稱尺寸DN150~1200,構(gòu)造合理等,因此,被廣泛用于大、中型多種高真空裝置的真空系統(tǒng)當(dāng)中,如用以真空鍍膜設(shè)備,真空熱處理爐、真空釬焊、高真空電子束焊機(jī)、離子束刻蝕設(shè)備、空間環(huán)模設(shè)施等。
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